Salahudin X. ANALISIS SIFAT FISIK LAPISAN TIPIS TITANIUM NITRIDA PADA BAJA AISI 410 YANG DILAPIS DENGAN METODE SPUTTERING. SNST [Internet]. 2014 Jul. 23 [cited 2026 May 5];1(1). Available from: https://publikasiilmiah.unwahas.ac.id/PROSIDING_SNST_FT/article/view/994