Salahudin, X. (2014). ANALISIS SIFAT FISIK LAPISAN TIPIS TITANIUM NITRIDA PADA BAJA AISI 410 YANG DILAPIS DENGAN METODE SPUTTERING. Prosiding Seminar Nasional Sains Dan Teknologi, 1(1). https://doi.org/10.36499/psnst.v1i1.994