Salahudin, X. 2014. ANALISIS SIFAT FISIK LAPISAN TIPIS TITANIUM NITRIDA PADA BAJA AISI 410 YANG DILAPIS DENGAN METODE SPUTTERING. Prosiding Seminar Nasional Sains dan Teknologi. 1, 1 (Jul. 2014). DOI:https://doi.org/10.36499/psnst.v1i1.994.