ANALISIS SIFAT FISIK LAPISAN TIPIS TITANIUM NITRIDA PADA BAJA AISI 410 YANG DILAPIS DENGAN METODE SPUTTERING

Abstract

Material untuk peralatan kedokteran harus memiliki beberapa keunggulan karakteristik, diantaranya tahan korosi, tahan aus dan memiliki permukaan yang halus. Modifikasi permukaan dengan menggunakan lapisan tipis titanium nitrida pada permukaan material akan dilakukan untuk mengetahui pegaruhnya terhadap nilai kekasaran. Tujuan penelitian ini yaitu mengetahui pengaruh variasi waktu pelapisan titanium nitrida pada baja AISI 410 terhadap kekasaran permukaan lapisan titanium nitrida. Proses pelapisan pada penelitian ini menggunakan DC magnetron sputtering. Variasi waktu pelapisan titanium nitrida pada baja AISI 410 yaitu 40, 50, dan 60 menit. Sedangkan variabel tetap yang digunakan yaitu tegangan 0,4 kV, kuat arus 80 mA, tekanan chamber 4 x 10-2 torr, jarak target-substrat 12 mm dan rasio titanium nitrida-nitrogen = 11:2. Uji kekasaran dilakukan dengan Surface Roughness Measuring Instrument model SE 1700. Pengujian kekasaran menghasilkan nilai kekasaran terendah pada permukaan yang dideposisi titanium nitrida dalam waktu 40 menit, dengan nilai kekasaran rata-rata 0,69 mm, dan nilai kekasaran rata-rata akar 0,0857 mm. Dari penelitian dapat disimpulkan bahwa pengaruh deposisi titanium nitrida pada baja AISI 410 tidak memiliki pengaruh yang signifikan terhadap nilai kekasaran rata-rata dan nilai kekasaran rata-rata akar.

Kata kunci: AISI 410, sputtering, kekasaran, TiN.